仪器平台
台阶轮廓仪
品牌：KLA-Tencor
型号：Alphastep D-600
负责人：屈泽华
联系方式：quzehua@fudan.edu.cn
放置地点：B1075
主要配置
0.03 mg的超微力技术; 亚埃级的高分辨率；150x150 mm的平晶作为扫描基准；闭环运动控制和测量。
基本用途
可测量薄膜膜厚，测量薄膜应力，测量薄膜粗糙度轮廓，测量MEMS等各种微纳器件的三维结构。
联系方式
电话：021-31242855-8002 邮箱：sunchang@fudan.edu.cn
地址：上海市杨浦区淞沪路2005号复旦大学化学/高分子楼 邮编：200438
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