分辨率：0.6 µm，1.0 µm，2.0 µm，5.0 µm；

直写速度（mm²/min）：25 @ 0.6 µm，50 @ 1 µm，100 @ 2 µm，180 @ 5 µm；

常规对准精度：0.5  µm；灰度直写等级：256级；

直写激光源：385 nm（1.5 W）；

基片台尺寸：230 mm直径；最大加工区域：200 mm直径；

三维直流位移电机：步进< 50 nm；X/Y轴最大行程200 mm，Z轴最大行程7 mm。