AFM:

水平分辨率：≤0.5 nm；

垂直分辨率：≤0.1 nm；

扫描范围：≥100×100×10 μm；

样品加热范围：室温—150 ℃，控温精度：0.05 ℃；

TERS单点增强倍数>50 x；TERS 分辨率：20-50 nm。

Raman：

532 nm激发波长，激光器功率50 mW；

785 nm激发波长，激光器功率300 mW；

可做偏振；

具备大面积高速扫描成像附件，具备3D拉曼扫描成像功能；

配备LvieTrack实时聚焦跟踪模块；

光谱分辨率：优于1 cm^-1；

空间分辨率：横向分辨率0.3 µm ，光轴方向纵向分辨率1 µm，共焦深度连续可调。