分辨率：1.0 nm@15 kV，4.0 nm @0.1 kV；放大倍数：12-900,000（SE），100-900,000（BSE）；加速电压：0.1-30 kV；能谱分辨率：129 eV；能谱分析范围：B5-U92。配备X射线能谱仪，检测器包括普通SE（二次电子检测器）、AsB（角度选择背散射电子检测器）、In-lens SE（环形内置式二次电子检测器）、EsB（能量选择背散射电子检测器）。

超高分辨率的表面形貌、结构观察、纳米尺度组分衬度成像以及表面元素成份分析等，用于物理、化学、生物、地质学、矿物、金属、半导体、陶瓷、高分子、复合材料、纳米材料等领域的研究和产品检验。