电子枪： 六硼化镧（LaB₆）；

高真空模式（二次电子）分辨率：2 nm @ 30 kV，5 nm @ 3 kV；

低真空模式（背散射电子，LVSTD）分辨率：2.5 nm @ 30 kV； 

加速电压： 200 V-30 kV；

探针电流： 1 _pA-2 _µA；

低真空压力范围：3-500 Pa； 

能谱仪：探测面积60 mm² ，能量分辨率≤ 129 eV at Mn-Kα；

配备SE检测器，BSE检测器，LVSTD检测器，高真空模式，低真空模式等。

用于固体材料及含水样品的表面形貌和结构观察、纳米尺度组分衬度成像以及表面元素成份分析等。