仪器平台
高性能发光器件制备与测试系统
品牌：沈阳鹏程真空有限公司
型号：CK600
负责人：陈珂
联系方式：22110440001@m.fudan.edu.cn
放置地点：B2104
主要参数及配置
溅射室极限真空度：≤7.0x10-5 Pa；
系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7 Pa.l/S；
系统从大气开始抽气：溅射室25分钟至少可达到5x10-4 Pa。
基本用途
该设备为高真空多功能永磁磁控溅射镀膜系统，系统主要应用于开发纳米级单层及多层功能膜和复合膜-可镀金属、合金、化合物、半导体、陶瓷膜、介质复合膜和其它化学反应膜等。
联系方式
电话：021-31242855-8002 邮箱：sunchang@fudan.edu.cn
地址：上海市杨浦区淞沪路2005号复旦大学化学/高分子楼 邮编：200438
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